上海普丹光學儀器有限公司

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MX-40BD半導體檢測顯微鏡

半導體檢測顯微鏡資料下載

產品用途

MX-40BD半導體檢測顯微鏡采用無限遠色差校正光學系統,具有大視野、成像質量高、功能擴展性強(明場/暗場/偏振光/DIC觀察)、大平臺等特點;同時配有長工作距半復消色差物鏡和快速和慢速移動的大行程載物臺,尤其適合半導體掩模板、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業器件的檢驗。

產品特點

  • 安全、穩重的機架結構設計: 工業檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩定性金屬機架,保證了系統的抗震能力與成像穩定性。其前置低手位粗微調同軸調焦機構,內置100-240V寬電壓變壓器,可適應不同地區的電網電壓。底座內部設計有風循環散熱系統,長時間使用也不會使機架過熱

  • 透反射照明器: 單顆大功率5W白色LED照明,帶斜照明機構。切換至斜照明時,可以使物體表面不同材質部分呈現立體圖案,增加觀察的對比度與視覺效果

  • 電動物鏡轉換器: MX-40BD采用6孔全自動電動裝盤(帶DIC插槽),重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制,根據需求可配置不同孔位的轉換器

  • 長工作距金相物鏡:采用半復消色差技術,其使用的多層寬帶鍍膜技術,使整個視場內的成像清晰銳利,色彩自然,明亮舒適。更有50X100X全復消色差金相物鏡可供選擇,大幅拓展了該機型的應用領域。

產品規格

規格參數 MX-40BD
光路系統 無限遠色差校正光學系統
觀察頭 鉸鏈三通觀察筒,30°傾斜,360°旋轉;瞳距范圍:50mm~76mm
反像,視度調節±5°;兩檔分光比R:T=100:0
目鏡 高眼點大視野平場目鏡WF10X(Φ23mm)
無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡 倍率 數值孔徑(N.A.) 工作距離(W.D.)
BD 5×-DIC 0.15 15.0mm
BD 10×-DIC 0.3 8.40mm
BD 20×-DIC 0.4 11.90mm
BD 50×-DIC 0.75 3.00mm
明暗場半復物鏡 BD 100×(選配) 0.9 1.0mm
放大倍數 50×-500×
電動物鏡轉輪 電動明暗場6孔轉換器(帶DIC插槽)
透反射用機架 6*4英寸雙層機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節
平臺面積310*240mm,移動行程:150mmX100mm機械平臺,X、Y方向同軸調節
內置100-240V寬電壓系統,采用數字調光,具有光強設定與復位功能
調焦機構 粗、微動同軸低手位調焦機構、帶鎖緊和限位裝置
 微動格值0.001mm、粗調行程35mm
DIC微分干涉 DIC微分干涉觀察組件(選配)
簡易偏光裝置 φ30起偏鏡插板(反射用)、360度旋轉式檢偏鏡插板(反射用)
聚光鏡 搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9)  
反射照明系統 柯拉照明系統,帶視場光闌與孔徑光闌,中心可調
100-240V寬電壓,單顆大功率5W LED,暖色
透射照明系統 內置5W暖色LED透射光照明系統,上下光可獨立控制
數碼成像系統 高質量0.65X  CCD適配鏡
Puda 630萬USB型進口芯片數字顯微鏡攝像機(采用SONY 6.3M/IMX178(C),1/1.8“ (7.37x4.92),59@3072 x2048,59@1536x 1024高性能芯片組/ USB3.0高速通訊,高分辨率、精準的色彩還原處理/ Ultra-Fine顏色引擎,確保顏色精準再現)
專業的圖像分析軟件(專業的圖像軟件(圖像采集/影像輸入/相機控制/視頻操作/圖像處理/圖像測量/圖像融合(景深擴展)/圖像拼接/清晰度對焦因子/動態圖像灰度值定標(可保證拍攝圖像明暗程度的一致性和連貫性) /插件功能))
可升級配件 明暗場全復消色差金相物鏡 50X   NA0.55   WD8.0  (可選)
明暗場全復消色差金相物鏡 100X  NA0.80   WD2.8  (可選)
移動平臺6寸、8寸透反射 (可選)
晶圓旋轉臺 (可選)
目鏡:10×(分劃)
注解:●為標配、○為可升級配件

特別聲明:

·普丹會盡全力為您提供準確、全面的信息,但不對信息中可能出現的錯誤或遺漏承擔責任。

·產品圖片僅供參考,請以銷售實物為準。

·以上內容如有變動,恕不另行通知。

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